[发明专利]一种提高非球面光学元件表面粗糙度的沥青抛光装置有效
申请号: | 202110798413.9 | 申请日: | 2021-07-15 |
公开(公告)号: | CN113523957B | 公开(公告)日: | 2022-08-19 |
发明(设计)人: | 毕春利;张海涛;郭本银;金春水 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | B24B13/00 | 分类号: | B24B13/00;B24B13/01;B24B41/04;B24B47/12 |
代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 魏毅宏 |
地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明提供了一种提高非球面光学元件表面粗糙度的沥青抛光装置,属于非球面光学元件加工技术领域,包括机床主体、旋转主轴气囊沥青抛光头、偏心运动模块和摆动模块,第一偏心运动模块和第二偏心运动模块之间形成转动副;旋转主轴可旋转地设置于第一主体上,气囊沥青抛光头固定于旋转主轴上,第一偏心运动模块固定于气囊沥青抛光头上,摆动模块一端与第二偏心运动模块固定,另一端与第二主体可滑动连接。本发明的提高非球面光学元件表面粗糙度的沥青抛光装置,通过偏心运动模块和摆动模块实现主轴气囊沥青抛光头的平面摆动,区别于传统沥青抛光中的偏心公转加自转、偏心公转的运动形式,实现非球面光学元件的表面粗糙度加工达到为深亚纳米级。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 球面 光学 元件 表面 粗糙 沥青 抛光 装置 | ||
【主权项】:
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