[发明专利]基于微型力矩器的石英挠性加速度计及其制造方法有效
| 申请号： | 202110792227.4 | 申请日： | 2021-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN113252944B | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 王月;支钞;屈明山;李严军;李枚 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 冯玲玲 |
| 地址： | 621999*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于微型力矩器的石英挠性加速度计及其制造方法，该加速度计包括石英挠性摆片，所述石英挠性摆片的上下侧均依次放置有永磁薄膜、电容极板和硅基线圈，从而使得所述石英挠性加速度计形成为以石英挠性摆片为对称中心、上下两侧对称的推挽式结构，整个加速度计呈扁平形状。该制造方法包括以下步骤：S1.微纳加工制备石英挠性摆片；S2.制备多极充磁的永磁薄膜；S3.微纳加工制备电容极板；S4.微纳加工制备硅基线圈；S5.集成石英挠性摆片、永磁薄膜、电容极板和硅基线圈从而形成加速度计。本发明能够缓解现有石英挠性加速度计中温度漂移问题，同时实现了器件制备与微纳工艺相兼容，有利于促进我国高精度、小型化的石英挠性加速度计的研制。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 微型 力矩 石英 加速度计 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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