[发明专利]研磨盘窗口盖、研磨盘及研磨机有效
| 申请号： | 202110787237.9 | 申请日： | 2021-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN113319736B | 公开（公告）日： | 2022-06-07 |
| 发明（设计）人： | 田国军;崔凯 | 申请（专利权）人： | 北京烁科精微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/20;B24B37/04 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 王锴 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种研磨盘窗口盖、研磨盘及研磨机，其中，研磨盘窗口盖包括窗口盖本体和保护件；保护件设于窗口盖本体上，以用于在研磨时与研磨垫接触。本发明改进了研磨盘窗口盖的结构，解决了研磨盘窗口盖容易被研磨垫粘下来的问题，保护了研磨盘窗口盖，避免了多次重新安装，也解决了因研磨盘窗口盖安装不到位而导致研磨垫磨平的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 窗口 研磨机 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京烁科精微电子装备有限公司，未经北京烁科精微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110787237.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
