[发明专利]一种高效制备Micro-LED芯片的方法和系统在审
| 申请号： | 202110702704.3 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN113437185A | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 刘召军;杨彪;蒋府龙;刘亚莹 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/14;H01L33/20;B23K26/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种高效制备Micro‑LED芯片的方法和系统，该方法包括：提供氮化镓基外延片；采用飞秒激光束在氮化镓基外延片上制备台面阵列，台面阵列包括多个台面结构；在台面结构上部制备电流扩散层，电流扩散层与P型氮化镓层接触；在电流扩散层上部制备第一电极，在相邻两个台面结构之间制备第二电极，第一电极与电流扩散层接触，第二电极与N型氮化镓层接触。本发明实施例提供的高效制备Micro‑LED芯片的方法，采用飞秒激光加工技术代替传统micro‑LED的台面制备技术，能够极大减少传统制备工艺步骤，提高制备效率和降低工艺复杂度；同时能够获得具有较高台面侧壁陡直度的高分辨率Micro‑LED器件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 制备 micro led 芯片 方法 系统 | ||
【主权项】：
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