[发明专利]基板取放装置及取放方法有效
| 申请号： | 202110659115.1 | 申请日： | 2021-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN113400285B | 公开（公告）日： | 2022-08-05 |
| 发明（设计）人： | 田孟顺;刘宏茂;杨清斗 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/04 | 分类号： | B25J9/04;B25J15/06 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 官建红 |
| 地址： | 518132 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板取放装置及取放方法。所述基板取放装置包括至少一机械手臂，机械手臂上设置有多根基板叉，每根基板叉上均设置有多个真空吸盘以及与多个真空吸盘连接的CDA管路；其中，机械手臂上还设置有多个压力电子表头和多个电磁阀，任一压力电子表头对应量测任一基板叉上的多个真空吸盘的真空度，任一电磁阀对应控制任一基板叉上的CDA管路的通断。本发明通过设置多个电磁阀，且任一电磁阀对应控制任一基板叉上的CDA管路的通断，当真空度达到预设范围的真空吸盘的数量满足要求时，可以通过电磁阀将真空度未达到预设范围的真空吸盘对应的CDA管路断开，避免机台报警宕机，可以有效改善机械手臂的吸真空异常，提高基板取放装置的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 基板取放 装置 方法 | ||
【主权项】：
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