[发明专利]用于蒸镀的精密金属遮罩及其多工序蚀刻制作方法在审
| 申请号： | 202110642496.2 | 申请日： | 2021-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN113265617A | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 张容韶;沈洵;胡清渊 | 申请（专利权）人： | 浙江众凌科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C23F1/02 |
| 代理公司： | 浙江永航联科专利代理有限公司 33304 | 代理人： | 蔡鼎 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种用于蒸镀的精密金属遮罩及其多工序蚀刻制作方法，包括金属基材，金属基材的一侧面为第一主表面，另一侧面为第二主表面，金属基材上开通若干暴露孔，暴露孔位于第一主表面上设置第一蚀刻孔，暴露孔位于第二主表面上设置第二蚀刻孔，中心相重合的第一蚀刻孔与第二蚀刻孔呈连通状态，第一蚀刻孔的外口大、内口小，且外口与内口之间通过凹弧孔壁过渡衔接，第二蚀刻孔的外口大、内口小，且外口与内口之间通过凹弧孔壁过渡衔接，第一蚀刻孔与第二蚀刻孔的衔接处形成交界夹角，交界夹角大于90°，第一蚀刻孔与第二蚀刻孔的衔接处为暴露孔的高精度孔径。本发明优化两侧蚀刻孔相交结构，尖点结构更平缓、更厚实，增加强度，提高精度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 精密 金属 及其 工序 蚀刻 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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