[发明专利]非球面光学元件加工机床导轨形状误差的确定性补偿方法有效
| 申请号： | 202110632150.4 | 申请日： | 2021-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN113275977B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 周炼;郑楠;樊非;李洁;韦前才;陈贤华;张清华;王健;许乔 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | B24B13/00 | 分类号： | B24B13/00;B24B49/12;B24B51/00;G01B11/24;G05B19/404 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 符继超 |
| 地址： | 621900*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了非球面光学元件加工机床导轨形状误差的确定性补偿方法，包括以下步骤：仿真分析机床导轨受力变形；实测导轨形状误差；计算加工工况下导轨形状误差分布；根据非球面方程，获取非球面光学元件表面各点坐标，结合非球面平行磨削砂轮运动控制点坐标传递函数模型，获取磨削过程中砂轮运动控制点阵坐标；叠加导轨形状误差，得到具有误差修正的砂轮运动控制点阵坐标；按照修正后的砂轮运动控制点坐标形成的加工轨迹进行磨削加工，实现导轨形状误差的确定性控制。本发明可以实现非球面成形加工过程中对机床导轨形状误差的确定性补偿控制，消除导轨形状误差与磨削力引起导轨变形而对元件最终加工精度的影响，提高元件的成形加工精度。 | ||
| 搜索关键词： | 球面 光学 元件 加工 机床 导轨 形状 误差 的确 定性 补偿 方法 | ||
【主权项】：
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