[发明专利]一种双轴衍射型硅光加速度传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110570386.X | 申请日： | 2021-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN113311188A | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 刘晓海;俞童 | 申请（专利权）人： | 欧梯恩智能科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/03 | 分类号： | G01P15/03 |
| 代理公司： | 北京商专润文专利代理事务所(普通合伙) 11317 | 代理人： | 王祖悦 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市姑*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及衍射型硅光加速度传感器，在一个基底硅基材料上成型出两组相互垂直的布拉格反射镜阵列和布拉格反射镜，能够通过MEMS制造工艺一次加工成型，便于批量制造。通过两个相互垂直的光纤发出的光纤能够同时2个方向的加速度测量，结构紧凑，同时也避免了将两个单轴加速度通过封装集成会遇到的难以对准问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 衍射 型硅光 加速度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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