[发明专利]一种基于腔增强的单光路痕量气体在线检测方法在审

专利信息
申请号: 202110562772.4 申请日: 2021-05-24
公开(公告)号: CN113406020A 公开(公告)日: 2021-09-17
发明(设计)人: 黄一槐;李宜原;逯鑫淼;张辉朝;张钰 申请(专利权)人: 杭州电子科技大学
主分类号: G01N21/27 分类号: G01N21/27;G01N21/01
代理公司: 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 代理人: 杨舟涛
地址: 310018 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种基于腔增强的单光路痕量气体在线检测方法。采用单光路吸收峰解调方法设计检测装置,从密封气孔充入被测气体,根据激光器的电流、温度调谐特性,使用低频率梯形波进行扫描,并叠加高频正弦波作为载波进行调制。由激光器发出的经调制后的激光经光束耦合器耦合进光学球形腔内,在腔内经过多次反射被被测气体吸收,然后由光束耦合器引出至光电探测器,转为电信号,然后经锁相放大器通过改进的吸收峰提取算法,配合功率归一化系数解调出吸收信号,由上机位反演出气体浓度并保存。本方法具备高灵敏度、高分辨率、多组分气体同时实时连续在线检测的优势,能广泛应用于公共环境、医疗等领域。
搜索关键词: 一种 基于 增强 单光路 痕量 气体 在线 检测 方法
【主权项】:
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