[发明专利]一种基于定向耦合结构的硅基光波导滤模器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110549167.3 | 申请日： | 2021-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN113296189B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 王希斌;杨凯迪;林柏竹;孙士杰;谷岳;余启东;张大明 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G02B6/12 | 分类号： | G02B6/12;G02B6/136 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 刘世纯;王恩远 |
| 地址： | 130012 吉林省长春市*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： |
一种基于定向耦合结构的硅基光波导滤模器及其制备方法，属于集成光电子学技术领域。由硅衬底，二氧化硅上、下包层，位于上、下包层间的两个结构参数相同的硅芯层输入波导Core1和输出波导Core2组成；输入波导Core1和输出波导Core2为少模波导，可以同时传输E |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 定向 耦合 结构 硅基光 波导 滤模器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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