[发明专利]可调温的抛光液输送装置和化学机械抛光设备在审
| 申请号： | 202110498958.8 | 申请日： | 2021-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN113070812A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 路新春;郑鹏杰;赵德文;李长坤;刘远航 | 申请（专利权）人： | 清华大学;华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B57/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可调温的抛光液输送装置和化学机械抛光设备，其中，抛光液输送装置包括：基座，所述基座上设有基座孔；转轴，所述转轴设在所述基座孔内，且所述转轴设置为在所述基座孔内可选择性地转动；悬臂，所述悬臂相对于所述转轴可转动地连接在所述转轴上，其内部中空；抛光液管，所述抛光液管穿过所述基座孔后伸入所述悬臂内，用于输送抛光液或气体；喷嘴组件，与所述抛光液管连通，所述喷嘴组件包括喷嘴座和设于喷嘴座下方的至少一个喷嘴；调温单元，用于对抛光液或气体进行冷却或升温，所述调温单元环绕抛光液管设置、和/或、不同喷嘴处分别设有不同调温单元以实现向抛光垫表面不同位置喷淋不同温度物质，从而调控抛光温度。 | ||
| 搜索关键词： | 调温 抛光 输送 装置 化学 机械抛光 设备 | ||
【主权项】：
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