[发明专利]氟碳/钯/镁-钪氢致变色薄膜及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202110476304.5 申请日: 2021-04-29
公开(公告)号: CN113215544B 公开(公告)日: 2022-10-28
发明(设计)人: 方浩澜;陈娟;彭立明;刘峻嘉;申炜;王廷炎;陈炎;崔元勋;董泽麟;管颖添;邓南香;丁文江 申请(专利权)人: 上海交通大学
主分类号: C23C14/35 分类号: C23C14/35;C23C14/18;C23C14/20;C23C14/16;C23C16/30;C23C16/50;C23C28/00
代理公司: 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 代理人: 胡晶
地址: 200240 *** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种氟碳/钯/镁‑钪的氢致变色薄膜及其制备方法,所述薄膜包括依次设置在基底上的镁‑钪复合膜层,钯催化层和氟碳膜层。其制备方法为先在基底上生长镁‑钪复合膜层,随后在镁‑钪层上原位生长钯催化层,最后在Pd上沉积氟碳膜层。本发明利用钯的催化效应,在吸氢和脱氢阶段,促进氢气与氢原子之间的可逆转换,添加复合钪元素以加速氢原子在镁基体中的扩散,加快氢化物的形成与分解,以使薄膜可在反射态和透明态之间反复快速切换,同时提升膜层的吸放氢循环耐久性。整个反应过程在室温下即可实现。该调光薄膜吸氢响应、脱氢恢复时间短,循环性能好,工艺简单,在氢气传感领域具有重要的应用前景。
搜索关键词: 氟碳 钪氢致 变色 薄膜 及其 制备 方法
【主权项】:
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