[发明专利]极紫外辐射控制方法、装置、电子设备和极紫外辐射系统有效
| 申请号： | 202110458736.3 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113296368B | 公开（公告）日： | 2023-01-31 |
| 发明（设计）人： | 马修泉;王力波;闻锦程;吴寒;刘怀亮;马新敏;陆培祥 | 申请（专利权）人： | 广东省智能机器人研究院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 纪婷婧 |
| 地址： | 523808 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种极紫外辐射控制方法、装置、电子设备和极紫外辐射系统。所述方法包括：输出液滴控制指令，液滴控制指令用于控制液滴靶生成装置以预设时间间隔产生预设速度的液滴；在液滴到达预设位置之后，输出预脉冲激光控制指令，预脉冲激光控制指令用于控制激光器发射预脉冲激光，使液滴在预脉冲激光的轰击作用下产生云雾团；在云雾团达到预设扩散程度和预设移动速度之后，输出主脉冲激光控制指令，主脉冲激光控制指令用于控制同一激光器发射主脉冲激光，使云雾团在主脉冲激光的轰击作用下产生等离子体，等离子体用于产生极紫外辐射。采用本申请实施例方法，能够有效提高等离子体极紫外辐射转换效率。 | ||
| 搜索关键词： | 紫外 辐射 控制 方法 装置 电子设备 系统 | ||
【主权项】：
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