[发明专利]一种单晶硅生产设备有效
| 申请号： | 202110456606.6 | 申请日： | 2021-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN113151892B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 陈立民;赵亮;陈丽芳;王泽东;姜君 | 申请（专利权）人： | 曲靖阳光新能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06;C30B15/20 |
| 代理公司： | 北京华仁联合知识产权代理有限公司 11588 | 代理人： | 李冰 |
| 地址： | 655000 云南*** | 国省代码： | 云南;53 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种单晶硅生产设备，其中，直拉单晶用热屏装置包括：内层隔热筒；外层隔热筒，所述外层隔热筒围绕设置在所述内层隔热筒外侧；热反射片，所述热反射片固定连接在所述外层隔热筒内侧周壁上；隔热垫，所述隔热垫固定安装在所述内层隔热筒和所述热反射片之间；其中单晶硅生产设备包括:炉体；坩埚，所述坩埚安装在所述炉体内底壁上，所述坩埚底部安装有旋转装置；热屏装置，所述热屏装置用于单晶硅生产过程中的热屏蔽；充气装置，所述充气装置用于往炉体内充入气体；直拉装置，所述直拉装置用于单晶硅的直拉生长。通过上述结构的设计，能增大纵向温度梯度，提高单晶硅的生长速度，从而提高单晶硅的产量和生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶硅 生产 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于曲靖阳光新能源股份有限公司，未经曲靖阳光新能源股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110456606.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
