[发明专利]一种半导体产品生产用预除尘清洗装置在审
| 申请号： | 202110455878.4 | 申请日： | 2021-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN113172044A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 高必静 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B3/02;B08B13/00;B08B15/04;F26B21/00;B01D46/10 |
| 代理公司： | 南昌逸辰知识产权代理事务所(普通合伙) 36145 | 代理人： | 石聪灿 |
| 地址： | 445400 湖北省恩施土家*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种半导体产品生产用预除尘清洗装置，属于半导体技术领域。一种半导体产品生产用预除尘清洗装置，包括箱体，所述箱体上固定连接有第一支撑架，所述第一支撑架上设有除尘机构，所述箱体上设有与除尘机构通相互配合的第一传送机构；所述箱体内壁转动连接有转动轴，所述转动轴上固定连接有曲轴，所述箱体内设有往复机构，所述曲轴驱动往复机构工作；本发明结构简单，操作便捷，达到对半导体产品表面沾附的金属碎渣进行清除收集，避免了后续对半导体产品进行清洗时，因碎渣造成产品表面出现刮花或损坏的情况，并且可对半导体产品表面沾附的灰尘进行一体式清洗、烘干操作，从而提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 产品 生产 除尘 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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