[发明专利]一种遮挡板、蒸镀设备及制作高梯度膜层的制备方法在审
| 申请号： | 202110453517.6 | 申请日： | 2021-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN113174565A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 茆胜 | 申请（专利权）人： | 睿馨（珠海）投资发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12;H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海洞鉴知识产权代理事务所(普通合伙) 31346 | 代理人： | 刘少伟 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市横琴新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种遮挡板、蒸镀设备及制作高梯度膜层的制备方法，其中，遮挡板包括：圆形遮挡板本体，在所述遮挡板本体上包括至少一个开口区域，所述开口区域允许蒸发分子穿过遮挡板本体；所述开口区域的弧度自所述遮挡板本体中心处向外边沿逐渐变大。有益效果是：在蒸镀过程中遮挡部分蒸发材料，改变蒸发材料在基板上的分布方式，获得膜厚变化幅度可调控的梯度膜厚薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 遮挡 设备 制作 梯度 制备 方法 | ||
【主权项】：
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