[发明专利]一种ITO靶材的抛光清洗方法在审
| 申请号： | 202110446819.0 | 申请日： | 2021-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN113231893A | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 余芳;文崇斌;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B41/04;B24B29/02;C23C14/34 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;魏微 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种ITO靶材的抛光清洗方法，包括以下步骤：(1)将绑定后的ITO靶材安装于可使ITO靶材旋转的装置上；(2)使60～100目的金刚海绵刷接触靶材待清洗的表面；(3)粗清洗；(4)用800～1200目的金刚海绵刷替换所述60～100目的金刚海绵刷；(5)精抛光，即得清洗后的ITO靶材。本发明所述清洗方法通过步骤(3)的粗清洗和步骤(5)的精抛光，选用不同目数的金刚海绵刷，并且控制打磨的压力和速度，达到靶材表面粗糙度的要求。通过本发明所述清洗方法清洗后的ITO靶材表面粗糙度均匀性好，且Ra＜0.8μm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ito 抛光 清洗 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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