[发明专利]基于飞秒激光加工的无铅压电陶瓷制备方法及无铅压电陶瓷

摘要

本发明公开一种基于飞秒激光加工的无铅压电陶瓷制备方法及无铅压电陶瓷，该方法在传统无铅压电陶瓷的制备基础上，利用飞秒激光器对圆片的上表面和下表面进行激光打孔及填充处理，获得优于传统掺杂改性陶瓷的性能，以简化陶瓷改性手段，提高陶瓷性能的可重复性。该方法制备获得的无铅压电陶瓷的压电常数d33达到128pC/N，相比无铅压电陶瓷基体提高了约35％，相比已报道的一步法合成的具有相同组成的无铅压电陶瓷提高了约16％；该方法制备获得的无铅压电陶瓷的机电耦合系数kp约为41％，相比已报道的一步法合成的具有相同组成的无铅压电陶瓷提高了约15％。