[发明专利]提高介电薄膜电容器储能密度的方法和介电薄膜电容器有效
申请号: | 202110405278.7 | 申请日: | 2021-04-15 |
公开(公告)号: | CN113314342B | 公开(公告)日: | 2022-08-05 |
发明(设计)人: | 陈德杨;罗永健;王长安;周生强 | 申请(专利权)人: | 华南师范大学 |
主分类号: | H01G4/33 | 分类号: | H01G4/33;H01G4/10 |
代理公司: | 广州骏思知识产权代理有限公司 44425 | 代理人: | 吴静芝 |
地址: | 510006 广东省广州市番禺区外*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: |
本发明提供一种提高介电薄膜电容器储能密度的方法,包括以下步骤:S1:制备底电极;S2:在底电极上沉积PbZrO |
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搜索关键词: | 提高 薄膜 电容器 密度 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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