[发明专利]热点及工艺窗监测有效
| 申请号： | 202110404661.0 | 申请日： | 2017-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN112925177B | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | B·戈洛瓦尼夫斯基 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/44;G06F30/39 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请实施例涉及热点及工艺窗监测。本申请提供计量叠加目标以及监测工艺缺点的方法。目标包括周期性结构，所述周期性结构中的至少一者包括沿着所述周期性结构的对应分段方向的重复不对称元件。举例来说，可以不同方式将所述元件的不对称性设计为沿着垂直于所述元件的所述分段方向的方向重复的不对称子元件。可根据所监测工艺缺点的类型(例如各种类型的热点、线边缘缩短、工艺窗参数等等)来以不同方式设计所述子元件的不对称性。测量的结果可用于改进工艺及/或提高计量测量的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 热点 工艺 监测 | ||
【主权项】：
暂无信息
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