[发明专利]一种解析静电与力电耦合响应的原子力显微方法及系统有效
| 申请号： | 202110384915.7 | 申请日： | 2021-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN113109595B | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 黄博远;李江宇 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 518055 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种解析静电与力电耦合响应的原子力显微方法及系统。一种解析静电与力电耦合响应的原子力显微方法，包括：将两个频段内具有不同特性参数的子波形按预设拼接顺序合成激励信号；将所述激励信号施加至待测目标，获取待测目标不同特性参数对应的振幅图像；根据目标解耦模型和所述待测目标的双模态振幅图像进行解耦与重构，生成所述待测目标的应变图像和静电图像。解决力电耦合应变测量易受静电影响、结果不准确的问题，实现由目标解耦模型定量解析双模态数据准确获得待测目标的力电耦合应变图像和静电响应图像的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 解析 静电 耦合 响应 原子 显微 方法 系统 | ||
【主权项】：
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