[发明专利]一种制备单晶镍铁氧体薄膜的方法有效
| 申请号： | 202110370455.2 | 申请日： | 2021-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN113235159B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 王悦;薛德胜 | 申请（专利权）人： | 兰州大学 |
| 主分类号： | C30B29/22 | 分类号： | C30B29/22;C30B23/08;C23C14/35;C23C14/08;C04B35/28;C04B35/622 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 林德强 |
| 地址： | 730000 甘肃*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种制备单晶镍铁氧体薄膜的方法，包括以下步骤：在室温下，采用镍铁氧体靶材，在单晶基片上通过磁控溅射，制备得到单晶镍铁氧体薄膜。本发明在室温下通过磁控溅射法可以制备得到单晶镍铁氧体薄膜，无需在溅射过程中对基片进行加热或是后续进行热处理，操作简单，可重复性高，应用前景广阔。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 制备 单晶镍 铁氧体 薄膜 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于兰州大学，未经兰州大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110370455.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种水位易观察的水利发电系统
- 下一篇：一种中间接头模具拆装台
