[发明专利]多通道式离子源及其工作方法有效
| 申请号： | 202110352330.7 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113223921B | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 孙运;韩双来;刘立鹏;马乔;娄建秋;段炼;王海东 | 申请（专利权）人： | 杭州谱育科技发展有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/14 | 分类号： | H01J49/14;H01J49/04;H01J49/06;H01J49/00 |
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| 地址： | 311305 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了多通道式离子源及其工作方法，所述多通道式离子源包括电源；阳极内具有多个第一气体通道；阴极内具有多个贯穿的第二气体通道；所述阴极和阳极间具有第一间隙；第一密封件设置在所述阳极和阴极之间，使得所述第一间隙与外界隔离；引出电极具有多个贯穿的离子通道，所述离子通道与所述第二气体通道相对设置，所述离子通道的中心轴线穿过所述第二气体通道；所述引出电极和阴极间具有第二间隙；所述电源为所述阳极、阴极和引出电极提供电压；真空腔内设置多个离子传输单元，从所述离子通道出射的离子穿过离子传输单元；样气通道用于将样气送入所述真空腔内。本发明具有离子总量高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 通道 离子源 及其 工作 方法 | ||
【主权项】：
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