[发明专利]金属膜上介质周期结构折射率传感器及制备方法在审
| 申请号： | 202110349101.X | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113189047A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 陈帅;甘昕;董金武;敖献煜 | 申请（专利权）人： | 华南师范大学 |
| 主分类号： | G01N21/41 | 分类号： | G01N21/41;C23C14/30;C23C14/16;C23C14/08;C23C16/40;C23C16/455;C23C14/58;C23C28/00;G03F7/00 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 滕诣迪 |
| 地址： | 510000 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于金属膜上介质周期结构折射率传感器，传感元件为纳米光子结构，上至下分别为介质柱阵列，氧化铝保护层贵金属反射层，基底；由圆柱体介质柱构成的介质柱阵列呈中心对称的形状，且紧贴氧化铝表面；通过共振峰位置偏移测量折射率。本发明所制备的折射率传感器，制作工艺简单，有效区域面积大，灵敏度高，分辨率高，且性质稳定，不会因为处于一定的高温或者潮湿的环境下而失去性能。 | ||
| 搜索关键词： | 金属膜 介质 周期 结构 折射率 传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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