[发明专利]一种高稳定性的STM测量装置有效
| 申请号： | 202110338812.7 | 申请日： | 2021-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN113074215B | 公开（公告）日： | 2022-04-26 |
| 发明（设计）人： | 钟家和;洪文晶;王晨浩;袁梓锋;章志清;陈香萍;黄宝贵;江波 | 申请（专利权）人： | 厦门大学 |
| 主分类号： | F16F15/02 | 分类号： | F16F15/02 |
| 代理公司： | 厦门原创专利事务所(普通合伙) 35101 | 代理人： | 刘剑锋 |
| 地址： | 361000 *** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高稳定性的STM测量装置，包含安装座、电动缸、探针、连接件、控制系统、测量回路；所述探针通过压电陶瓷设置于所述探针安装座并且所述探针朝向所述电动缸安装座；所述连接件包含固接于所述电动缸安装座的直线轴承，所述电动缸的输出轴通过连接座连接有连接杆，所述连接杆穿过所述直线轴承，所述连接杆的末端设置有基底安装座，所述连接杆包含外套筒和内套轴，所述内套轴由若干分轴组成，从下往上的所述分轴的直径依次减小，所述分轴在其底端的两侧分别设置有凸起部，所述外套筒对应所述凸起部的位置对应填充有阻尼块；所述控制系统电连接所述压电陶瓷，用于输出电压并驱动所述压电陶瓷产生形变从而带动探针上下运动。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 稳定性 stm 测量 装置 | ||
【主权项】：
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