[发明专利]一种单晶炉热场加热装置及其加热方法有效
| 申请号： | 202110334151.0 | 申请日： | 2021-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN113122911B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 程旭兵;周波 | 申请（专利权）人： | 浙江晶阳机电股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 徐昶 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开一种单晶炉热场加热装置及其加热方法，加热装置位于单晶炉内，所述单晶炉内设有支撑架，支撑架上设有底座和调节件，调节件控制底座位于支撑架上上下移动，底座上设有基准盘，底座上设有阵列分布的调节螺杆，调节螺杆用于调节基准盘的水平度，支撑架上设有加热件，加热件上可拆卸设有填充件，填充件用于向石英罩和坩埚四周填充沙子。本发明加热装置通过转动第二转动手柄，使得底座向下移动，使得基准盘与加热件产生间隙将石英罩放置在基准盘上，取代传统的将石英罩分散成多个部分从加热件的上方放入，操作方便，有利于提高效率；通过转动调节螺杆,使得基准盘的水平度发生改变，取代传统的垫片调节，方便快捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉热场 加热 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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