[发明专利]一种单晶炉热场加热装置及其加热方法

说明书

本发明公开一种单晶炉热场加热装置及其加热方法，加热装置位于单晶炉内，所述单晶炉内设有支撑架，支撑架上设有底座和调节件，调节件控制底座位于支撑架上上下移动，底座上设有基准盘，底座上设有阵列分布的调节螺杆，调节螺杆用于调节基准盘的水平度，支撑架上设有加热件，加热件上可拆卸设有填充件，填充件用于向石英罩和坩埚四周填充沙子。本发明加热装置通过转动第二转动手柄，使得底座向下移动，使得基准盘与加热件产生间隙将石英罩放置在基准盘上，取代传统的将石英罩分散成多个部分从加热件的上方放入，操作方便，有利于提高效率；通过转动调节螺杆,使得基准盘的水平度发生改变，取代传统的垫片调节，方便快捷。

技术领域

本发明涉及单晶炉领域，具体是一种单晶炉热场加热装置及其加热方法。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。

单晶炉在使用过程中操作繁琐，石英罩由多个部件组成，在向发热件内放置时，传统的操作方法需要将各个部件进行拆卸后，从加热件的上方放入，操作繁琐不便；石英罩在放置后，需要对石英罩的水平度和石英罩与籽晶杆的同轴度进行调节，现有技术中通常采用在基准件的下方放置垫片进行调节，操作不便，而且准确度较低，需要多从调节的校准才能达到要求，效率低下，而且工作人员的劳动强度较高；在校准之后需要在石英罩内填充沙子，传统的采用勺子进行添加，效率低下，而且沙子极易洒落。

发明内容

本发明的目的在于提供一种单晶炉热场加热装置及其加热方法，通过转动第二转动手柄，使得底座向下移动，使得基准盘与加热件产生间隙将石英罩放置在基准盘上，取代传统的将石英罩分散成多个部分从加热件的上方放入，操作方便，有利于提高效率，转动第二转动手柄，使得石英罩插入发热件内；调节第二螺纹杆上的螺母对加热件的水平度进行调节，此时发热件与籽晶杆同轴心；通过转动调节螺杆,使得基准盘的水平度发生改变，取代传统的垫片调节，方便快捷；移动石英罩，使得石英罩的轴心与籽晶杆的轴心相同，使得石英罩能够同步受热；向石英罩内填充沙子，将填充件的放置区内填充满沙子，提拉提拉件，将配合槽套装在第一支撑环上，松开提拉件，沙子进入石英罩内，从观测口观察沙子填充情况，提拉提拉件，截留件对沙子进行截留，取下填充件，取代传统的采用勺子进行填充，方便快捷，避免洒落；将石英罩内的沙子抹平，在沙子上放置坩埚，坩埚位于石英罩的中间位置；采用S5中的方法在坩埚的四周填充沙子；关闭门体，通过转动第一转动手柄，通过挤压块对门体进行挤压限位，通过连通孔向发热管内填充石墨，取代传统的端部填充，提高填充的效率的同时有利于石墨均匀的填充，通过电极部通电进行加热。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种单晶炉热场加热装置，加热装置位于单晶炉内，所述单晶炉内设有支撑架，支撑架上设有底座和调节件，调节件控制底座位于支撑架上上下移动，底座上设有基准盘，底座上设有阵列分布的调节螺杆，调节螺杆用于调节基准盘的水平度，支撑架上设有加热件，加热件上可拆卸设有填充件，填充件用于向石英罩和坩埚四周填充沙子。

进一步的，所述单晶炉包括方形框体，方形框体的一侧转动设有门体，另一侧设有锁合件，门体包括门主体，门主体的一侧与方形框体紧固连接，另一侧设有对称分布的卡口。

进一步的，所述锁合件包括转动件和锁合单元，转动件包括与方形框体转动连接的第一转动轴，第一转动轴上垂直设有第一螺纹杆，锁合单元上设有第一连接杆，第一连接杆的一端设有与第一螺纹杆配合的第一螺纹孔，另一端设有第一转动手柄，第一连接杆上设有挤压块。

进一步的，所述支撑架包括支撑盘，支撑盘上设有对称分布的第二螺纹杆，支撑盘上设有第一贯穿孔和第二贯穿孔，支撑盘的下方设有第一连接块，第一连接块上设有第三贯穿孔。