[发明专利]一种MPCVD金刚石研磨装置有效
| 申请号： | 202110307383.7 | 申请日： | 2021-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN112847125B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 刘宏明;林琳 | 申请（专利权）人： | 湖州中芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B24B47/12;B24B47/20;B24B47/22;B24B47/26;B24B55/06;B24B55/12;B24B57/02 |
| 代理公司： | 湖州佳灏专利商标代理事务所(特殊普通合伙) 33476 | 代理人： | 黄永兰 |
| 地址： | 313000 浙江省湖*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及金刚石加工技术领域，且公开了一种MPCVD金刚石研磨装置，包括研磨盘，研磨盘的底面固定连接有电机架，电机架底面固定安装有转动电机，转动电机的传动轴在研磨盘内的一端固定连接有砂轮，研磨盘顶面左右两侧均开设有滑槽，滑槽内套入有滑板，滑板对应研磨盘中心的一面开设有横截面呈凸字型的槽，滑板的内壁套入有滑块，滑块远离研磨盘中心的一面开设有孔且孔内通过转动轴承连接有转盘，转盘的外壁开设有齿槽，滑板侧面内壁开设有槽且槽内套入有五个齿板，通过滑板的设置，在金刚石每个面研磨完毕抬升的过程中，自动让金刚石产生转动，免除拆装金刚石调整角度的繁琐操作，提高金刚石研磨的加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mpcvd 金刚石 研磨 装置 | ||
【主权项】：
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