[发明专利]一种微机电系统器件及其制造方法在审
| 申请号： | 202110305625.9 | 申请日： | 2021-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN113184796A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 刘文超;魏贤龙;郭等柱 | 申请（专利权）人： | 北京大学（天津滨海）新一代信息技术研究院 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00;B81C3/00 |
| 代理公司： | 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 | 代理人： | 刘贺秋 |
| 地址： | 300452 天津市滨海新*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微机电系统器件及其制造方法。微机电系统器件包括第一晶片、第二晶片、工作元件及电极等。工作元件形成于第一晶片上，第二晶片与第一晶片键合连接；第二晶片具有腔体结构，该工作元件处于腔体结构内，电极贯穿设置于键合界面上；电极与工作元件连接。该制造方法包括：提供第一晶片和具有腔体结构的第二晶片，在第一晶片上形成工作元件，在第一晶片上制备与工作元件连接的电极，将第二晶片与第一晶片键合连接，并使电极贯穿于第一晶片与第二晶片的键合界面上，以及使工作元件设置于腔体结构内。本发明保证微机电系统器件的工作元件处在真空环境内，使微机电系统器件具有更高的灵敏度、精确性以及稳定性，提高了器件使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 系统 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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