[发明专利]一种具有凹面的靶材背板的制造方法有效
| 申请号： | 202110293451.9 | 申请日： | 2021-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN113106362B | 公开（公告）日： | 2022-07-01 |
| 发明（设计）人： | 黄宇彬;童培云;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | C22F1/02 | 分类号： | C22F1/02;C22F1/08;C22F1/04;C22F1/18;C23C14/34;B21J5/02 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;黄华莲 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有凹面的靶材背板的制造方法，包括：平板坯料退火：在真空环境或惰性气体环境中，对平板坯料进行退火，退火温度为380℃至860℃，退火时间为0.4h至4.1h，形成退火平板坯料；锻打成型：在与以上步骤中退火温度相同的条件下，使用具有凸起的锻造模具多次锻打退火平板坯料，直到退火平板坯料具有与锻造模具契合的凹面后停止锻打，形成凹面坯料；凹面坯料退火：在真空环境或惰性气体环境中，对凹面坯料进行退火，退火温度不高于平板坯料退火步骤中的退火温度，退火时间不低于平板坯料退火步骤中的退火时间，形成具有凹面的靶材背板。这种具有凹面的靶材背板的制造方法能够以较为简单经济的工艺制造出性能良好的靶材背板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 凹面 背板 制造 方法 | ||
【主权项】：
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