[发明专利]研磨装置、信息处理系统、研磨方法及记录介质在审
| 申请号： | 202110285164.3 | 申请日： | 2021-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN113492356A | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 中村显;鸟越恒男;铃木佑多;松尾尚典;神子岛隆仁 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B37/013;B24B37/10;G06F30/17;G06F30/27;G06N20/00;H01L21/66;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 张丽颖 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明是研磨装置、信息处理系统、研磨方法及记录介质，研磨装置能够参照存储有使用学习用数据而完成学习的机器学习模型的存储体，该学习用数据将关于研磨中的研磨部件与基板间的摩擦力的信号的特征量或研磨中的研磨部件或基板的温度的特征量作为输入，并将关于研磨后的基板的膜厚的数据或研磨后的基板所包含的关于产品合格率的参数作为输出，研磨装置具备处理器，该处理器根据关于研磨中的研磨部件与基板间的摩擦力的信号、或者研磨中的研磨部件或对象基板的温度而生成特征量，将该生成的特征量输入所述完成学习的机器学习模型，由此输出关于研磨后的基板的膜厚的数据或研磨后的基板所包含的关于产品合格率的参数的任意一个作为推定值。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 装置 信息处理 系统 方法 记录 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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