[发明专利]一种氯硅烷废气雾化处理装置在审
| 申请号： | 202110273749.3 | 申请日： | 2021-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN113181757A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 唐安中;张志海;张诚;周朋;周晴 | 申请（专利权）人： | 北京鑫晟环能科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/79 | 分类号： | B01D53/79;B01D53/96 |
| 代理公司： | 北京康达联禾知识产权代理事务所(普通合伙) 11461 | 代理人： | 罗延红 |
| 地址： | 100012 北京市朝阳区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种氯硅烷废气雾化处理装置，包括氯硅烷净化装置，其特征在于，所述氯硅烷净化装置的输入端连接有雾化装置，所述雾化装置的输入端连接有氯硅烷废气收集装置的输出端或直接与废气输出端相连接，所述氯硅烷废气进入所述雾化装置后，所述氯硅烷废气被水雾分子充分网捕，所述氯硅烷废气与所述水雾一同进入所述氯硅烷净化装置，被网捕的氯硅烷废气在所述氯硅烷净化装置中被充分净化。本发明能实现废水的循环利用和废气的循环过滤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 废气 雾化 处理 装置 | ||
【主权项】：
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