[发明专利]用于液相外延法生长石榴石单晶单面厚膜的衬底夹具在审
| 申请号： | 202110268770.4 | 申请日： | 2021-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN113073383A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 杨青慧;杨雪;张鼎;张元婧;黄建涛;张怀武 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | C30B19/06 | 分类号： | C30B19/06;C30B29/28 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 吴姗霖 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种用于液相外延法生长石榴石单晶单面厚膜的衬底夹具，包括固定支架、环形连接件、多条铂金柱；固定支架通过连接杆与液相外延设备的提拉杆连接，并同时与环形连接件固定连接；环形连接件下方固定连接多条均匀、竖直分布的铂金柱；每个铂金柱内侧设置截面为半圆形的支撑件，用于放置衬底，每个铂金柱的外侧设置凹槽，用于通过铂丝固定衬底。本发明在铂金柱底部设置高度一致的支撑件，以保证衬底水平放置；铂金柱外侧设置凹槽，通过缠绕铂丝进一步固定衬底。本发明衬底夹具可实现衬底基片绝对水平放置，进而精确控制衬底的位置，实现液相外延衬底单面生长单晶厚膜，单面生长厚膜可有效降低厚膜生长过程中的晶格失配，更加有利于厚膜的生长。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 外延 生长 石榴石 单面 衬底 夹具 | ||
【主权项】：
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