[发明专利]一种平滑微透镜结构表面的制备方法有效
| 申请号： | 202110265370.8 | 申请日： | 2021-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN113031402B | 公开（公告）日： | 2022-08-26 |
| 发明（设计）人： | 黄胜洲;谢芳琳;王雷;王风涛;韦山;吴中平;孙家乐 | 申请（专利权）人： | 安徽工程大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 袁林涛 |
| 地址： | 241000 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种平滑微透镜结构表面的制备方法，应用于平滑微透镜结构表面的制备系统，所述制备系统包括：曝光光源，沿曝光光线照射方向顺次设置有匀光准直元件、DMD芯片、投影物镜以及三维精密平台，还包括机械振动辅助机构，用于驱动所述投影物镜产生正弦振动或余弦振动；其中，所述制备方法包括：开启曝光光源，产生曝光光线，匀光准直元件用于将曝光光线处理为均匀光束，投影物镜将所述均匀光束聚焦至三维精密平台的精准曝光位置，以在工件表面生成曝光图形；开启机械振动辅助机构，驱动所述投影物镜产生正弦振动或余弦振动，以模糊DMD像素间隙，消除曝光图形的像素量化误差；使用显影液对微透镜结构图形进行显影。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平滑 透镜 结构 表面 制备 方法 | ||
【主权项】：
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