[发明专利]凸轮驱动的晶圆定位及托起装置有效
| 申请号： | 202110236403.6 | 申请日： | 2021-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN114454075B | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 许剑锋;于世超;张建国;郑正鼎;侍大为 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/00;B24B41/06;B24B47/00 |
| 代理公司： | 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙) 32274 | 代理人： | 田沛沛 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开一种凸轮驱动的晶圆定位及托起装置，包括定位装置和托起装置，定位装置包括驱动电机、凸轮板和定位传动组件，定位传动组件一端连接凸轮板上的凸轮槽，另一端设置浮动定位指，驱动电机通过传动机构带动凸轮板旋转，从而带动浮动定位指沿径向向内运动，实现晶圆精准定心，随后托起装置对晶圆进行夹取和托起。本发明采用一组驱动机构带动多个浮动定位指运动，同步性好，实现对晶圆高精度定心。驱动盘内的弹簧可实现力矩缓冲和扭矩限制，弹簧将传动刚度降低，使扭矩呈线性变化，限制接触晶圆的力，有效避免晶圆破碎。采用浮动定位指，通过其伸缩使晶圆下降时尽可能靠近放置面，防止晶圆放置产生偏差或损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 凸轮 驱动 定位 托起 装置 | ||
【主权项】：
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