[发明专利]杠杆驱动的晶圆定位及托起机构有效
申请号: | 202110236402.1 | 申请日: | 2021-03-03 |
公开(公告)号: | CN114454074B | 公开(公告)日: | 2022-11-22 |
发明(设计)人: | 许剑锋;于世超;张建国;郑正鼎;侍大为 | 申请(专利权)人: | 华中科技大学 |
主分类号: | B24B29/02 | 分类号: | B24B29/02;B24B41/00;B24B41/06;B24B47/00 |
代理公司: | 南京申云知识产权代理事务所(普通合伙) 32274 | 代理人: | 田沛沛 |
地址: | 430074 湖北*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开一种杠杆驱动的晶圆定位及托起机构,包括设置在底板上的定位装置和托起装置,定位装置包括驱动装置、中心板、缓冲装置、以及沿中心板周向均匀设置的至少三组撬杆和浮动定位指,缓冲装置为设置在底板与中心板之间的弹簧;驱动装置下压中心板并使弹簧压缩,晶圆进入浮动定位指内侧,然后驱动装置回旋,弹簧释放蓄能推动中心板上移,三个撬杆被同时抬起,三个浮动定位指同时向中心靠拢作定心夹紧,实现晶圆同步向心。本发明采用微调结构调节撬杆的高度和位置,弥补部件加工中产生的误差;采用浮动定位指,通过其伸缩使晶圆下降时尽可能靠近放置面,防止晶圆放置产生偏差或损伤;另外缓冲装置避免传动刚度过大导致晶圆破裂。 | ||
搜索关键词: | 杠杆 驱动 定位 托起 机构 | ||
【主权项】:
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