[发明专利]一种硅铝化学机械抛光用磨料的制备方法有效
| 申请号： | 202110227352.0 | 申请日： | 2021-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN113150742B | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 胡颖妮 | 申请（专利权）人： | 广州凌玮科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14 |
| 代理公司： | 广州市越秀区哲力专利商标事务所(普通合伙) 44288 | 代理人： | 杨艳 |
| 地址： | 511440 广东省广州市番禺区番禺大道北*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种硅铝化学机械抛光用磨料的制备方法，包括如下步骤：利用水玻璃和铝盐溶液制备硅铝氧化物，在合成过程中保持体系pH值在中性；向上述硅铝氧化物中加入稀硫酸，使部分铝物种迁移到粒子表面，然后再经过陈化，冷却，过滤，得到滤饼；对滤饼进行洗涤，以降低滤饼中二氧化硅的钠离子和硫酸根的含量；将洗涤后的滤饼重新分散在少量水中，分散均匀后所得浆料进行喷雾干燥，再经气流粉碎分级，即得硅铝化学机械抛光用磨料。本发明的制备方法通过采用液相合成，在合成过程中通过中性pH控制，使得硅铝物种均匀分布，同时以酸性处理和洗涤，控制铝物种的表面析出，形成可控铝包覆硅的结构，提高所得磨料化学机械抛光的应用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 磨料 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广州凌玮科技股份有限公司，未经广州凌玮科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110227352.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
