[发明专利]一种覆盖可见光波段和红外波段的光电探测器有效
申请号: | 202110222735.9 | 申请日: | 2021-02-26 |
公开(公告)号: | CN112992863B | 公开(公告)日: | 2023-06-20 |
发明(设计)人: | 李婷;唐磊;杨靓;时光;何杰;崔双韬;张先娆;徐晚成;李海松;张曼;曹天骄;袁昕 | 申请(专利权)人: | 西安微电子技术研究所 |
主分类号: | H01L23/538 | 分类号: | H01L23/538;H01L31/02;H01L25/065;H01L27/144 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 陈翠兰 |
地址: | 710065 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明提供了一种覆盖可见光波段和红外波段的光电探测器,包括光电探测器本体,所述光电探测器本体包括靠近光线由顶至底设置的第一晶圆、第二晶圆和第三晶圆;所述第一晶圆、第二晶圆和第三晶圆依次叠加设置;所述第一晶圆上装配有若干个可见光像元和读出电路;所述第二晶圆上装配有若干个红外读出电路;所述第三晶圆上装配有若干个红外像元阵列;第一晶圆与第二晶圆硅片键合设置,所述第三晶圆通过第一晶圆与第二晶圆硅片键合后互联设置,实现可见光波段图像和红外波段图像的探测,该光电探测器结构简单,操作方便,便于在复杂的光照条件下进行成像,满足星体追踪,目标识别,深空探测等多领域的应用需求。 | ||
搜索关键词: | 一种 覆盖 可见光 波段 红外 光电 探测器 | ||
【主权项】:
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