[发明专利]一种芯片晶圆加工用切割设备有效
申请号: | 202110201876.2 | 申请日: | 2021-02-23 |
公开(公告)号: | CN113001037B | 公开(公告)日: | 2022-09-06 |
发明(设计)人: | 李豪 | 申请(专利权)人: | 内蒙古兴固科技有限公司 |
主分类号: | B23K26/38 | 分类号: | B23K26/38;B23K26/70 |
代理公司: | 北京高航知识产权代理有限公司 11530 | 代理人: | 乔浩刚 |
地址: | 028000 内蒙古自治区通辽*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本发明提供一种芯片晶圆加工用切割设备,其结构包括传导器、显示屏、工具台、工作台、移动轴、安装平台、激光器,传导器下端嵌固安装于工具台上端,显示屏内侧安装于工具台外侧,工具台左端与工作台右端卡合连接,移动轴右端与工具台左端卡合连接,安装平台下端焊接连接于移动轴上端,通过压动压钮使伸缩器进行缩放,将晶圆放置于夹紧机构上,通过压动推动杆的推块使齿杆对活动齿进行移动,通过活动齿的旋转带动活动杆进行旋转,使夹紧板对晶圆的上下表面进行固定夹紧,防止晶圆的滑动造成晶圆位置偏移。 | ||
搜索关键词: | 一种 芯片 晶圆加 工用 切割 设备 | ||
【主权项】:
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