[发明专利]双向ESD保护器件及电路在审

专利信息
申请号: 202110166368.5 申请日: 2021-02-07
公开(公告)号: CN112510034A 公开(公告)日: 2021-03-16
发明(设计)人: 刘森;刘筱伟;李建平;班桂春;张均安 申请(专利权)人: 微龛(广州)半导体有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 代理人: 施婷婷
地址: 510663 广东省广州市高新技术*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供一种双向ESD保护器件及电路,包括:位于衬底上的埋氧层,位于埋氧层上的三个N阱,设置于第一N阱内的第一PMOS管,设置于第二N阱内的第二PMOS管及设置于第三N阱内的PNP三极管;其中,各N阱通过浅沟槽隔离结构隔离,各N阱内P+注入区和N+注入区通过氧化硅埋槽隔离;第一PMOS管的源极连接输入输出端口,栅极接参考地,漏极连接PNP三极管的基极;第二PMOS管的漏极连接PNP三极管的基极,栅极连接输入输出端口,源极连接参考地;PNP三极管的发射极连接输入输出端口,集电极连接参考地。本发明采用绝缘层上硅工艺,结电容较小,器件频率快、功耗小、噪声低,具有广阔应用前景;并通过PNP三极管的栅极、衬底控制基区电势以实现触发电压的可调。
搜索关键词: 双向 esd 保护 器件 电路
【主权项】:
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