[发明专利]一种玻璃组件键合的方法有效

专利信息
申请号: 202110080428.1 申请日: 2021-01-21
公开(公告)号: CN112919815B 公开(公告)日: 2022-06-03
发明(设计)人: 屈飞;韩立;张贺 申请(专利权)人: 杭州中科神光科技有限公司
主分类号: C03C15/00 分类号: C03C15/00;C03C23/00;C03B23/20
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 311412 浙江省杭州市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明属于光学组件技术领域,特别涉及一种玻璃组件键合的方法。本发明先将玻璃元件进行氧等离子体刻蚀处理,去除玻璃表面的污染物,改善玻璃表面的亲水性能;然后进行氩气‑氧气等离子体刻蚀处理,利用氩离子大的轰击作用,在玻璃表面打开Si‑O键、Al‑O键和B‑O键,有利于后续在玻璃表面引入H+基团和OH基团,对活化的玻璃表面钝化,同时为自发键和提供条件;然后进行羟基自由基溶液浸泡,利用羟基自由基活性高的特点,氧化去除玻璃转移过程中玻璃表面在空气中吸附的污染物,同时羟基进入Si‑O键、Al‑O键和B‑O键的断裂形成的活性位置,在玻璃表面引入OH基团,有利于提高玻璃表面键合强度。
搜索关键词: 一种 玻璃 组件 方法
【主权项】:
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