[发明专利]一种金刚石膜氧化硼掺杂方法

摘要

本发明公开了一种金刚石膜氧化硼掺杂方法，所述方法采用热丝气相沉积法制备掺硼金刚石薄膜时，通过在基片平台的周边均匀设置若干开口面积相等的容器，将氧化硼粉放置于容器中，在热丝加热时同时加热容器中的氧化硼粉形成高温气化，实现掺硼金刚石薄膜的制备。本发明通过在基片平台周边设置若干开口面积相等的容器，并在容器中盛放氧化硼粉，通过控制盛放粉体的数量，就可以控制参加气化的氧化硼数量，并通过采用不同高度的空心立管作为容器，可以控制氧化硼与热丝的距离，从而控制氧化硼的接触温度，从而间接调整氧化硼的气化速度，选择一个合适的高度和数量，从而在其他条件一定的情况下，控制硼掺杂的浓度，使硼在沉积过程中的均匀高效掺杂。