[发明专利]激光加工设备的故障诊断方法在审

专利信息
申请号: 202110078543.5 申请日: 2021-01-20
公开(公告)号: CN112926824A 公开(公告)日: 2021-06-08
发明(设计)人: 李曼;侯煜;王然;岳嵩;石海燕;张昆鹏;张喆;薛美;张紫辰 申请(专利权)人: 中国科学院微电子研究所
主分类号: G06Q10/06 分类号: G06Q10/06
代理公司: 北京兰亭信通知识产权代理有限公司 11667 代理人: 陈晓瑜
地址: 100029 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种激光加工设备的故障诊断方法,包括:获取设备当前的异常报警信息,并确定所述异常报警信息的报警分数;依据所述异常报警信息,确定多个对应所述异常报警信息的待筛查部件;依据所述待筛查部件,确定多个对应所述待筛查部件的待筛查故障;依据所述待筛查故障和所述报警分数,确定每个部件的影响因子;依据所述影响因子,确定引起所述异常报警信息的故障部件。本发明提供的技术方案能够准确定位设备异常,精确判断设备运行情况,定位引发设备异常的原因。
搜索关键词: 激光 加工 设备 故障诊断 方法
【主权项】:
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