[发明专利]通道型真空标准漏孔检测装置及方法在审
申请号: | 202110073761.X | 申请日: | 2021-01-20 |
公开(公告)号: | CN112665805A | 公开(公告)日: | 2021-04-16 |
发明(设计)人: | 刘贝贝;张忠立;王灿;许红;金愿;张斯宏 | 申请(专利权)人: | 上海市计量测试技术研究院 |
主分类号: | G01M3/26 | 分类号: | G01M3/26;G01F25/00 |
代理公司: | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人: | 王一琦 |
地址: | 200040 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种通道型真空标准漏孔检测装置,包括气源、稳压腔体、分子泵、机械泵、储气罐;被测通道型真空标准漏孔真空端连接稳压腔体,大气端同时连通气体流量计组、第一皂膜流量计、第二皂膜流量计;流量计组中最低检测流量大于第一皂膜流量计,第一皂膜流量计的检测流量大于第二皂膜流量计;稳压腔体与一组压力值由低到高的一组电容薄膜真空计各自可切断地连通;稳压腔体分别与分子泵、机械泵可切断地连通;稳压腔体与气可切断地连通;分子泵与储气罐连通;分子泵、储气罐与机械泵可切断地连通。本装置能够适应所有设定压力范围内的漏孔的漏率检测,测试方便,普适性高,测量精度高。 | ||
搜索关键词: | 通道 真空 标准 漏孔 检测 装置 方法 | ||
【主权项】:
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