[发明专利]一种防溢出硅片清洗设备有效
| 申请号： | 202110072088.8 | 申请日： | 2021-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN112387646B | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 钱诚;田晓东;冯春 | 申请（专利权）人： | 常州江苏大学工程技术研究院;江苏亚电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67;F26B5/14 |
| 代理公司： | 芜湖市昌强专利代理事务所(特殊普通合伙) 34203 | 代理人： | 张宇江 |
| 地址： | 213000 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种防溢出硅片清洗设备，包括：清洗池和两平行设置的端板，分别与两端板固定连接的三个齿杆和三个支撑杆，硅片能够插到相邻两夹紧齿之间，两端板之间还转动连接有一安装板，安装板能够盖合在各硅片上，清洗池的两侧短边内侧壁分别具有一溢流腔体，清洗池的内侧壁开设有上溢流孔，清洗池的外侧壁底部开设有下溢流孔，下溢流孔与溢流腔体连通，清洗池内清洗液通过上溢流孔进入溢流腔体后，能够从下溢流孔排出；以及上溢流孔的位置处设置有清洗部，清洗部与上溢流孔的内侧壁贴合，且清洗部与安装板联动，其中安装板盖合时，安装板能够联动清洗部清洗上溢流孔，通过在下溢流孔处收集清洗液，避免清洗液溢出的情况，以保证使用安全性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溢出 硅片 清洗 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州江苏大学工程技术研究院;江苏亚电科技有限公司，未经常州江苏大学工程技术研究院;江苏亚电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110072088.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种便于排液的硅片清洗设备
- 下一篇：一种硅片清洗方法
