[发明专利]一种提高CO2有效

专利信息
申请号: 202110058758.0 申请日: 2021-01-16
公开(公告)号: CN112921402B 公开(公告)日: 2022-11-04
发明(设计)人: 李强;边慧征;王晨旭;雷訇;惠勇凌;朱占达 申请(专利权)人: 北京工业大学
主分类号: C30B33/06 分类号: C30B33/06;C30B29/42;H01S3/109;B24B1/00
代理公司: 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 代理人: 沈波
地址: 100124 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种提高CO2激光器倍频效率的方法,采用增加单层晶片厚度的方式,增加至300μm以上量级,晶片之间的厚度误差可控制在0.5λ=0.3μm、平面度峰谷值为0.056λ、均方根值为0.009λ。抛光后的晶体按照相邻晶片极化方向反转180°进行堆叠,经过真空环境下高温加压热键合过程,使晶片牢固的结合在一起。本发明具有实质性特点和显著进步,相对目前采用的CO2激光器倍频方式,本发明的方式具有以下优势:晶片加工质量和精度提高,厚度误差小、粗糙度和平面度降低;键合层数可达50层以上,热键合后平均单层界面损耗低;通光孔径大,可达20mm;有效提高CO2激光器倍频的输出功率和转化效率。
搜索关键词: 一种 提高 co base sub
【主权项】:
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