[发明专利]一种多节MEMS探针关键尺寸测量用探针装载载物台有效
| 申请号： | 202110051008.0 | 申请日： | 2021-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN112858735B | 公开（公告）日： | 2022-08-16 |
| 发明（设计）人： | 于海超 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明一种多节MEMS探针关键尺寸测量用探针装载载物台属于精密测试计量、微机电系统、IC芯片测试及探针卡技术领域；该探针装载载物台包括固定台和装载台，固定台和装载台之间通过转轴连接；固定台包括下部承载台和上部参考台；装载台侧面设置有挤压结构，相对连接上部参考台的另一侧，设置有竖直调整支架，竖直调整支架的端部设置有升降板；被测件的待测面与装载台上表面位于同一水平面，被测件的另一端面接触升降板；本发明作为面向超高温工作环境下芯片测试的MEMS探针结构及测试方法中的一项关键技术，有利于确保超高温工作环境下，大尺寸或多测试点芯片测试过程中，裸芯与探针之间有效接触，进而有利于对该芯片进行测试。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 探针 关键 尺寸 测量 装载 载物台 | ||
【主权项】：
暂无信息
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