[发明专利]用于激光诱导超临界液体烧蚀加工的保护液膜组合物及激光切割工艺有效
| 申请号： | 202110040309.3 | 申请日： | 2021-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN112831261B | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 陈宇 | 申请（专利权）人： | 科纳瑞雅（昆山）新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C09D171/02 | 分类号： | C09D171/02;C09D139/06;C09D7/63;H01L21/78 |
| 代理公司： | 苏州周智专利代理事务所(特殊普通合伙) 32312 | 代理人： | 陈宁 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市昆山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于激光诱导超临界液体烧蚀加工的保护液膜组合物及激光切割工艺，属于半导体加工用化学试剂及加工工艺技术领域。该组合物主要包括能够激光诱导生成超临界液体的基体混合物、冷却剂、润湿剂、消泡剂和水，在使用时该保护液膜组合物被旋涂在材料的被加工表面，激光透过液膜照射在材料面并诱导该组合物产生超临界液体，其可有效去除由激光烧蚀产生的碎屑以及堆积在作用区周围的熔融物及火山口高度。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 激光 诱导 临界 液体 加工 保护 组合 切割 工艺 | ||
【主权项】：
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