[发明专利]一种红外增强吸收金属纳米材料及其制备方法在审
| 申请号： | 202110026188.7 | 申请日： | 2021-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN112786772A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 明安杰;赵永敏;朱婧;张少勋 | 申请（专利权）人： | 有研工程技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | H01L37/02 | 分类号： | H01L37/02;C23C14/18;C23C14/26;C23C14/04;B82Y30/00;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 中国有色金属工业专利中心 11028 | 代理人： | 范威 |
| 地址： | 101407 北京市怀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种红外增强吸收金属纳米材料及其制备方法，材料包括：钽酸锂晶片，钽酸锂晶片的下表面自上而下依次设有Ti/Cr层和Au层，钽酸锂晶片的上表面自下而上依次设有Ti/Cr层以及Al层和金黑层。方法包括：在钽酸锂晶片的下表面自上而下依次制备Ti/Cr层和Au层，在钽酸锂晶片的上表面自下而上依次制备Ti/Cr层以及Al层；在Al层表面制备一层高分子粘附层；将不锈钢掩模板置于钽酸锂晶片的上方；采用高纯金粒为原料，通过惰性气体氛围热蒸镀的方式，在高分子粘附层的上表面制备金黑层。采用本发明提升宽谱吸收率、提升衬底粘附性以及实现图形化大面积制备，该方法制备工艺简单，产品可靠性好，适合产业化生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 红外 增强 吸收 金属 纳米 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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