[实用新型]曝光装置有效
| 申请号： | 202023005674.0 | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN213934538U | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 孙万华;周金东;揭海欢 | 申请（专利权）人： | 南昌欧菲显示科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京恒博知识产权代理有限公司 11528 | 代理人： | 范胜祥 |
| 地址： | 330013 江西省南昌*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种曝光装置，曝光装置包括第一光罩以及视觉定位组件，第一光罩包括曝光区以及设置于曝光区外围的非曝光区，曝光区的尺寸可调节以用于与不同待曝光元件的尺寸相适配，曝光区具有第一待识别标识，视觉定位组件包括第一驱动件以及设置于第一驱动件上的视觉定位件，第一驱动件配置成可带动视觉定位件运动，以使视觉定位件可对不同尺寸的曝光区上所对应的不同位置的第一待识别标识进行识别，该设计能够对不同尺寸的待曝光元件进行曝光，以提升曝光装置的适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 曝光 装置 | ||
【主权项】：
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